微束X射线荧光光谱分析技术可以通过逐点测试，得到成分分布图像，并同步反映组织结构信息，从而实现成分和组织结构的原位同步统计映射。本文介绍了一种可以完成高精度、高速度、大尺寸、高分辨、无损测试、多元素分析的高通量微区扫描型能量色散X射线荧光光谱仪器NX-mapping设计，开发相应的分析方法体系，从而为材料高通量测试链条中的“成分-组织结构-点阵位置”的原位映射环节提供重要的技术支撑。