热场发射扫描电镜Apreo S的部分故障排查与维护

热场发射扫描电镜Apreo S的部分故障排查与维护
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热场发射扫描电镜因具有电子束稳定，束流大，分辨率高，样品适用性广泛等诸多优势，目前广泛地应用于各种材料的微观形貌观测，并可对样品微观区域进行定性定量分析。本文总结了赛默飞公司型号为Apreo S的热场发射扫描电镜在近几年的使用中出现的几种仪器故障及排查处理方式，希望为同行提供仪器维护的参考。

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参考文献

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引证文献

田娜娜 , 刘士新, 方卉,邹少兰,靳凤民,王红.热场发射扫描电镜Apreo S的部分故障排查与维护[J].科研仪器案例成果数据库,2024,(0).

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