柔性电子应用急速发展,聚合物柔性传感器需求激增,但是其存在对电阻和电容信号敏感度不如金属材料、在高精度测量领域发展受限的问题。众多传感器中,电容式压力传感器由于结构简单、分辨率高、动态响应特性好等被广泛应用。因此,本文通过将多孔ZnO NWs/PDMS海绵介电层夹在两个ITO/PET电极间,制备了高灵敏、响应时间超短的柔性电容式压力传感器。多孔ZnO NWs/PDMS海绵介电层如下制备:以盐粒为模板,制备多孔PDMS海绵,在其中加入不同比重的ZnO NWs。含有50mg ZnO NWs的多孔PDMS海绵(1×1×1cm3)响应时间低于150ms,灵敏度高达0.0311kPa-1。由此,为解决柔性传感器对电容信号敏感度低的问题提供了一种新思路,为扩大其应用场景奠定了基础。
刘欣悦,刘梅,王志明,孟令军.一种新型灵敏多孔ZnO NWs/PDMS海绵电容式压力传感器[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).