李秋花，姜志全，刘建一，刘婉婷
利用X射线光电子能谱（XPS）及氩离子刻蚀技术，通过改变氩离子枪的刻蚀模式，研究了单氩离子模式和团簇氩离子模式下剖析不同深度范围内有机物（聚对苯二甲酸乙二醇酯）和无机氧化物（二氧化铈）元素及化学态的变化。结果表明，单氩离子模式刻蚀过程中很容易造成材料化学结构的破坏，引起表面元素化学状态改变，团簇氩离子模式下可以实现材料的无损深度剖析。
李秋花,姜志全,刘建一,刘婉婷.氩离子刻蚀技术在X射线光电子能谱中的应用[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
