利用劈尖干涉测量平整度
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    提出了基于等厚干涉,明暗条纹形状与间距变化的的原理,通过观察相干光产生的干涉条纹。精确测量出条纹形状变化,然后进行数据传输与处理,得出光学仪器的平整度。用这种方式测量光学仪器表面平整度,有着高精度和简便的优点。

    关键词:等厚干涉
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宋顺义,杨紫琼,黄奕铭,张伟.利用劈尖干涉测量平整度[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).

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  • 在线发布日期: 2024-09-24
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