MOFs材料是一种有机-无机杂化材料，由于其骨架内部结构由于有很大的空腔、较高比表面积、孔隙率、结构清晰孔径可调、易于化学功能化而被广泛用于吸附分离、电催化、生物医学。但是由于MOFs自身的固态粉末的物理特性导致其容易团聚，采用常规的粉末样品制备测试，用扫描电镜不能将MOFs材料自身的形貌和元素分布较好表征出来。鉴于此，现选取的沸石咪唑酯框架-8（ZIF-8）、Zr基MOF-UIO-66、MOF-808(Zr)三种材料为例，对材料的分散度以及空间分辨率选取最优条件，以及用能谱仪选择MOF-808(Zr)的最佳原子百分比的测试条件。