微探头传感器式激光干涉仪是新一代超精密激光干涉测量仪器的代表，与传统激光干涉仪相比，具有探头尺寸极小、装调方便、可隔离热污染和易实现嵌入式测量等显著优势，在掩模板滑移检测、高端测量装备内部元件位移检测、材料形变测量和科学研究等嵌入式位移测量场合具备极大潜力。这项研究分别从微探头干涉测量原理、测量基准和测量误差三方面展开，突破微探头式高分辨力大量程干涉测量、大范围高带宽调频下高精度稳频、信号解调周期非线性误差消除的关键理论和核心技术，解决了“测不了”、“测不准”、“测不精”的三大技术难题，实现并搭建了完整的高精度微探头式激光干涉仪，以支撑装备制造中的传感式超精密测量需求，为我国高端装备集成研发提供嵌入式在线测量手段，为纳米计量测试提供核心仪器。