光学显微镜和扫描电子显微镜联用结合了光学与电子显微分析技术，可获得样品同一位置的光学图像和高分辨电子图像，以实现更全面准确的样品表征，因而被广泛应用于材料科学、光学工程等学科。相较于传统非联用技术，光-电联用可快速获取同一区域样品对应的光学图像、电子图像以及光谱信息等样品特征。为此，本研究通过微纳加工技术制备了带有快速定位功能的光电联用样品台，结合能谱定位、原子力显微镜实现了特定区域样品的多维度、跨尺度表征及拉曼选区分析，对相关科研工作具有重要意义。